CF（彩色滤光片）显影用的“颜料”通常不是单一颜料，是光刻型彩色光阻（Color Resist）中的着色体系。常见三基色分别是：

• 红色： 以高耐热有机颜料为主

• 常见类型：喹吖啶酮类、偶氮类、苝系衍生物

• 绿色：

• 常见类型：酞菁类、偶氮金属络合物、镍酞菁改性体系

• 蓝色：

• 常见类型：铜酞菁类、蒽醌类、少量高透明蓝色有机颜料

另外，CF 工艺里通常还会用到：

• 分散剂

• 光敏树脂/碱溶性树脂

• 光引发剂或感光组分

• 溶剂

• 交联剂

• 消泡剂、流平剂、附着力促进剂

一、CF 颜料浆料一般是先做颜料预分散，再做砂磨精细分散，最后做过滤和调配。

典型流程

1. 原料称量

• 颜料

• 树脂/分散剂

• 溶剂

• 添加剂

2. 预混合

• 高速搅拌 10–30 分钟

• 让颜料初步润湿

3. 粗分散

• 采用高速分散机或均质机

• 目标是打散团聚体

4. 砂磨/珠磨

• 使用氧化锆珠

• 目标粒径通常控制在 D50 < 100 nm

• 更严格时要求 D90 < 200 nm，避免显示缺陷

5. 脱泡

• 真空脱泡或静置脱泡

6. 过滤

• 常用 1–5 μm 过滤

• 去除大颗粒和杂质

7. 调粘度/固含

• 依据涂布方式和显影窗口调整

8. 真空包装

• 防潮、防氧化、防污染

二、1）红色光阻浆料参考配方（重量份）

• 红色有机颜料：8–15

• 碱溶性丙烯酸树脂：15–25

• 分散剂：1–3（蒂森F52分散剂）

• 光敏树脂/感光单体：5–12

• 光引发剂：1–4

• 溶剂（PGMEA / MIBK / 乙二醇醚类）：40–60

• 交联剂：1–5

• 流平剂：0.1–0.5

• 消泡剂：0.05–0.2

• 附着力促进剂：0.1–0.5

2）绿色光阻浆料参考配方

• 绿色有机颜料：6–12

• 碱溶性丙烯酸树脂：15–25

• 分散剂：1–3（蒂森F52分散剂）

• 光敏树脂/感光单体：5–12

• 光引发剂：1–4

• 溶剂：45–65

• 交联剂：1–4

• 流平剂：0.1–0.5

• 消泡剂：0.05–0.2

3）蓝色光阻浆料参考配方

• 蓝色有机颜料：5–10

• 碱溶性丙烯酸树脂：15–25

• 分散剂：1–3

• 光敏树脂/感光单体：5–12

• 光引发剂：1–4

• 溶剂：50–65

• 交联剂：1–4

• 流平剂：0.1–0.5

• 消泡剂：0.05–0.2

三、红色 CF 浆料示例（1000 g）

• 红色颜料：100 g

• 碱溶性丙烯酸树脂：180 g

• 分散剂：20 g

• 光敏树脂/活性单体：80 g

• 光引发剂：25 g

• 交联剂：20 g

• PGMEA：520 g

• 流平剂：2 g

• 消泡剂：1 g

• 附着力促进剂：2 g

• 合计：950 g 左右

剩余部分通常用于：

• 粘度微调

• 过滤损耗补偿

• 设备残留补偿

四、关键工艺控制点

想让 CF 颜色层显影稳定，重点看这些指标：

• 粒径

• 颜料分散越细越好

• 防止显影后出现颗粒、针孔、色点

• 粘度

• 影响旋涂均匀性和线宽控制

• 固含量

• 太低会膜厚不足，太高会涂布困难

• 溶剂挥发曲线

• 影响膜面平整度和边缘堆积

• 显影速度

• 过快容易损失图形稳定性

• 过慢会降低产能

• 热稳定性

• CF 后段有烘烤和固化，颜料必须耐热

五、实际生产建议

• 目标膜厚：比如 1.0–2.5 μm

• 曝光波长：i-line / g-line / 其他

• 显影液：Na2CO3 / TMAH 体系等

• 分辨率要求

• 色坐标和透过率目标

• 允许的颗粒尺寸上限

• 烘烤温度窗口

六、

• 颜料 5–15%

• 树脂 15–25%

• 分散剂 1–3%

• 感光组分 5–12%

• 溶剂 50–70%

• 其余为助剂

然后通过：

• 预分散

• 珠磨

• 过滤

• 旋涂测试

• 曝光显影测试